Définitions de la CIB - 01 janvier 2012

G03F 1/32 - Définition en

Énoncé de la définition

Le présent groupe couvre:

La matière du sous-groupe G03F 1/26 dans lequel le masque à décalage de phase possède une région atténuée qui produit un éclairement sortant décalé en phase à une phase différente de celui produit par une région claire non atténuée du masque à décalage de phase atténué (p.ex. masque à décalage de phase ayant une portion à décalage de phase semi-transparente, masque à décalage de phase à demi-teintes); et dans lequel le procédé de confection a pour objet la confection d’un tel masque à décalage de phase atténué.

(1) Note. Dans le présent masque à décalage de phase atténué (masque à décalage de phase atténué, masque à décalage de phase à demi-teintes), la région atténuée ou à demi-teintes est partiellement transmissive et engendre un décalage de phase de l’éclairement sortant. Le degré du décalage de phase et de la transmissivité de la région à décalage de phase atténué dépend du matériau et de l’épaisseur de cette dernière, ainsi que de la longueur d’onde de l’éclairement. Une telle région à décalage de phase atténué ou une telle région à décalage de phase à demi-teintes peuvent être formées par addition d’un matériau approprié présentant une épaisseur adaptée, réduction de l’épaisseur d’une couche préalablement formée (que ce soit un substrat de support du masque à décalage de phase atténué ou une couche supplémentaire située sur celui-ci), ou un autre traitement ultérieur d’une portion du masque à décalage de phase atténué (tel que le dopage sélectif ou l’implantation ionique).

(2) Note. Une région à décalage de phase atténué peut être créée par réduction suffisante de l’épaisseur d’un matériau de couche d’absorbeurs normalement opaque, tel qu’une mince couche de chrome (Cr) souvent appelé "chrome à fuites".