Définitions de la CIB - 01 janvier 2012
G03F 1/54 - Définition
Le présent groupe couvre:
La matière du groupe principal G03F 1/00 dans lequel les produits modifiant le rayonnement comportent un absorbeur (p.ex. en matériau opaque) ayant pour fonction d’absorber le rayonnement incident.
(1) Note. Cet absorbeur peut être un matériau opaque particulier qui est de constitution chimique définie (p.ex. tantale (Ta), or (Au), chrome (Cr), carbone (C), siliciure de molybdène (MoSi)). Il peut également présenter un dessin précis (p.ex. un quadrillage non résoluble donnant lieu à un masque à nuances de gris, un masque en dégradé), une épaisseur particulière (p.ex. rendant la région d’absorbeurs semi-transparente pour ne laisser que 20% de transmittance au rayonnement incident à une longueur d’onde cible permettant la reproduction de l’image), ou une structure interne donnée (p.ex. absorbeur multicouche, couche opaque à implantation ionique pour modifier une propriété optique en vue d’absorber d’avantage de rayonnement incident).
(2) Note. Sont exclus du présent sous-groupe les masques à décalage de phase atténué possédant des régions à décalage de phase créées par réduction suffisante de l’épaisseur d’un matériau de couche d’absorbeurs normalement opaque, tel qu’une mince couche de chrome (Cr) souvent appelé "chrome à fuites".