Définitions de la CIB - 01 janvier 2012

G03F 1/20 - Définition en

Énoncé de la définition

Le présent groupe couvre:

La matière du groupe principal G03F 1/00 dans lequel les produits modifiant le rayonnement sont soit des masques à motifs dessinés permettant la reproduction de leur image par rayonnement d’un faisceau de particules chargées (p.ex. par faisceau d’électrons), des plaques pour masques à cet effet, soit des substrats spécialisés pour confectionner de tels masques à motifs dessinés; et les procédés de confection ont pour objet la confection de tels masques à motifs dessinés permettant la reproduction de leur image par rayonnement d’un faisceau de particules chargées, la confection de plaques pour masques à cet effet, ou la confection de substrats spécialisés à cet effet.