Définitions de la CIB - 01 janvier 2012

G03F 1/26 - Définition en

Énoncé de la définition

Le présent groupe couvre:

La matière du groupe principal G03F 1/00 dans lequel les produits modifiant le rayonnement sont soit des masques à décalage de phase à motifs dessinés, des plaques pour masques à décalage de phase à cet effet, soit des substrats spécialisés pour confectionner de tels masques à décalage de phase à motifs dessinés; et les procédés de confection ont pour objet la confection de tels masques à décalage de phase à motifs dessinés, la confection de plaques pour masques à décalage de phase à cet effet, ou la confection de substrats spécialisés à cet effet.

(1) Note. Dans le présent sous-groupe, le masque à décalage de phase présente une région à décalage de phase transmissive ou réflective qui confère à l’éclairement sortant de ladite région une longueur de chemin optique différente de celle d’une autre région (sans décalage de phase et généralement adjacente), de sorte que les éclairements sortant de ces régions distinctes se situent à des phases différentes l’une de l’autre. Lorsque la différence de phase entre la région à décalage de phase et la région sans décalage de phase adjacente est égale à 180°, l’interférence destructive est maximisée pour l’éclairement sortant entre ces régions, engendrant une intensité minimlae de lumière résultant de la combinaison des faisceaux diffractés, ce qui conduit à une intensité de lumière projetée foncée qui améliore la résolution lors de l’insolation d’une couche photosensible (telle qu’une résine photosensible).

(2) Note. Pour un masque à décalage de phase transmissif, la région à décalage de phase est généralement obtenue par addition sélective d’une couche à décalage de phase transparente qui augmente l’épaisseur réelle d’un substrat transmissif, ou par attaque chimique sélective pour créer un évidement qui diminue l’épaisseur du substrat transmissif, chacun de ces procédés procurant un éclairement sortant différant en phase de l’éclairement sortant d’une autre région inchangée du substrat transmissif. Toutefois, la différence de phase au niveau de la région à décalage de phase peut également être obtenue par dopage sélectif ou implantation d’ions particuliers dans le substrat transmissif en vue de faire varier sélectivement l’indice de réfraction ou d’autres caractéristiques optiques du substrat transparent, modifiant ainsi le passage de la lumière d’éclairement sortant de la région à décalage de phase par rapport à la lumière sortant d’une autre région (sans décalage de phase) du substrat transmissif du masque à décalage de phase.