Définitions de la CIB - 01 janvier 2012
G03F 1/30 - Définition
Le présent groupe couvre:
La matière du sous-groupe G03F 1/26 dans lequel le masque à décalage de phase possède des régions claires alternées de phase différente séparées par une région d’absorbeurs représentant un dessin à reproduire, cette région d’absorbeurs se présentant généralement sous la forme de lignes formant absorbeurs séparées par des espaces à décalage de phase et des espaces sans décalage de phase alternés en séquence itérative sur une grande surface du masque à décalage de phase (p.ex. masque à décalage de phase de Levenson-Shibuya, etc.); et dans lequel le procédé de confection a pour objet la confection d’un tel masque à décalage de phase alterné.