Définitions de la CIB - 01 janvier 2012
G03F 1/29 - Définition
Le présent groupe couvre:
La matière du sous-groupe G03F 1/26 dans lequel le masque à décalage de phase possède une région d’absorbeurs présentant une étroite crête claire adjacente qui produit un éclairement sortant décalé en phase (déphasé de 180°) par rapport à l’éclairement non décalé en phase sortant d’une région claire non décalée en phase d’un substrat transparent, cette région d’absorbeurs représentant un dessin à reproduire (masque à décalage de phase à contour ou masque à décalage de phase en surplomb); et dans lequel le procédé de confection a pour objet la confection d’un tel masque à décalage de phase à contour ou d’un tel masque à décalage de phase en surplomb.