Définitions de la CIB - 01 janvier 2012
G03F 1/36 - Définition
Le présent groupe couvre:
La matière du groupe principal G03F 1/00 dans lequel les produits à motifs dessinés modifiant le rayonnement sont des masques, le masque comportant un dessin présentant une caractéristique de correction des effets de proximité ou une dimension modifiée d’un détail du dessin pour améliorer le dessin gravé résultant ainsi formé (p.ex. améliorer les dessins de dimension inférieure à la résolution de définition de trait, réduire la formation de lobes secondaires entre les dessins rapprochés); et dans lequel les procédés de confection ont pour objet la confection de tels masques à caractéristiques de correction d’effets de proximité (p.ex. procédés de conception à correction d’effets de proximité optique).
(1) Note. La correction des effets de proximité vise à résoudre les problèmes résultant de la miniaturisation des dessins destinés aux masques modifiant le rayonnement, laquelle provoque généralement une altération du dessin, cette dernière n’étant pas identique pour tous les types de dessins tels que, par exemple, un dessin à traits et espaces, un dessin isolé, etc.
(2) Note. Les caractéristiques de correction d’effets de proximité peuvent se présenter sous la forme de dessins de dimension inférieure à la résolution de définition de trait (p.ex. empattements, barres d’assistance) ou de dessins modifiés (p.ex. déformés) en vue de compenser les effets de proximité optique dans une topologie de base d’un dessin de masque. Les caractéristiques de correction d’effets de proximité peuvent également se présenter sous la forme de dessins fictifs, lesquels sont placés dans une région inoccupée d’un dessin de masque pour limiter le traitement hétérogène dû aux effets de proximité.
Il est important de tenir compte des endroits suivants, qui peuvent présenter un intérêt pour la recherche:
Adaptation de la topologie ou de la conception de base d’un masque aux exigences du procédé lithographique pour la confection de masques sans caractéristiques de correction d’effets de proximité | G03F 1/70 |
Conception assistée par ordinateur en général | G06F 17/50 |