Définitions de la CIB - 01 janvier 2012
G03F 1/38 - Définition
Le présent groupe couvre:
La matière du groupe principal G03F 1/00 dans lequel les produits à motifs dessinés modifiant le rayonnement sont des masques à caractéristiques auxiliaires, le masque possédant une structure en plus de celle utilisée pour la reproduction de son image et cette structure est utilisée à des fins subsidiaires; et dans lequel les procédés de confection ont pour objet la confection de tels masques à caractéristiques auxiliaires.
Note. Par exemple, ces fins subsidiaires peuvent concerner l’alignement du masque au sein d’un appareil d’exposition, le contrôle du masque, sa protection ou l’amélioration d’une image obtenue à partir du masque.